| 发明名称 |
USE OF SPECIFIC RESISTANCE MEASUREMENT TO INDIRECTLY DETERMINE THE PURITY OF SILANES AND GERMANES, AND CORRESPONDING METHOD |
| 摘要 |
본 발명은 비저항을 측정하기 위한 장치를 사용하여 실란 및 게르만의 순도를 간접적으로 결정하기 위한 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 비저항을 측정하기 위한 장치가 사용되는 품질 조절을 비롯한 실란 또는 게르만을 산업적으로 제조하고/하거나 이들로 용기를 충전하기 위한 시스템에 관한 것이다. |
| 申请公布号 |
KR20130036203(A) |
申请公布日期 |
2013.04.11 |
| 申请号 |
KR20127024867 |
申请日期 |
2010.12.28 |
| 申请人 |
EVONIK DEGUSSA GMBH |
发明人 |
MUEH EKKEHARD;RAULEDER HARTWIG;AMEND RAINER;HAJDUK MARTIN |
| 分类号 |
G01N27/12 |
主分类号 |
G01N27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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