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发明名称 Speicherzellenarray mit vergrabener Bitleitung mit reduziertem Widerstand und Herstellungsverfahren hierfür
摘要
申请公布号 DE102006032958(B4) 申请公布日期 2013.04.11
申请号 DE20061032958 申请日期 2006.07.17
申请人 QIMONDA AG 发明人 KLEINT, CHRISTOPH, DR.;FITZ, CLEMENS, DR.;BEWERSDORFF-SARLETTE, ULRIKE;LUDWIG, CHRISTOPH, DR.;PRITCHARD, DAVID;MUELLER, TORSTEN;BOUBEKEUR, HOCINE
分类号 H01L27/105;H01L21/8239;H01L21/8247;H01L27/115 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
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