发明名称 Verfahren für Trägerfilm
摘要 Ein Ablöseverfahren durch Anwenden eines Laserstrahls auf einen Trägerfilm zum Ausführen einer Ablösung. Das Ablöseverfahren enthält einen Schutzfilm-Ausbildungsschritt des Aufbringens eines Flüssigharzes, das ein feines Oxidpulver enthält, das bezüglich der Wellenlänge des Laserstrahls ein Absorptionsvermögen aufweist, auf zumindest einen betreffenden Bereich des abzulösenden Trägerfilms, wodurch ein Schutzfilm ausgebildet wird, der das feine Pulver zumindest auf dem betreffenden Bereich des Trägerfilms enthält, und einen Laserbearbeitungsschritt des Anwendens des Laserstrahls auf den betreffenden Bereich, der mit dem Schutzfilm abgedeckt ist, wodurch ein Ablösen durch den Schutzfilm auf dem betreffenden Bereich des Trägerfilms nach dem Ausführen des Schutzfilm-Ausbildungsschritts ausgeführt wird.
申请公布号 DE102012218212(A1) 申请公布日期 2013.04.11
申请号 DE201210218212 申请日期 2012.10.05
申请人 DISCO CORPORATION 发明人 KITAHARA, NOBUYASU
分类号 H01L21/301;B23K26/40;H01L21/268;H01L21/67;H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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