发明名称 |
一种锥镜检测装置 |
摘要 |
一种锥镜检测装置由斐索干涉仪、具有圆形光栅的玻璃基底组成,所述的玻璃基底的A面作为参考平面,B面用光刻法制作成圆形光栅,作为光栅面,所述玻璃基底的光栅面B与所述斐索干涉仪输出的单色平行光垂直,以及其检测锥镜方法。本实用新型实现了对各类锥镜的检测,弥补了现有技术中的空白。 |
申请公布号 |
CN202869452U |
申请公布日期 |
2013.04.10 |
申请号 |
CN201220583873.6 |
申请日期 |
2012.11.08 |
申请人 |
上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
发明人 |
程珂;叶青;魏向荣;施丽敏;李旭峰;査雨;顾亚平 |
分类号 |
G01B11/24(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/24(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
张泽纯 |
主权项 |
一种锥镜检测装置,其特征在于由斐索干涉仪、具有圆形光栅的玻璃基底组成,所述的玻璃基底的A面作为参考平面,B面用光刻法制作成圆形光栅,作为光栅面,所述玻璃基底的光栅面B与所述斐索干涉仪输出的单色平行光垂直。 |
地址 |
200433 上海市杨浦区国定路335号2号楼2401室 |