| 发明名称 | 一种用于基板预对准以及基板方向检测及调整的装置 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种光刻机基板预对准装置，包括：预对准台，安装在一旋转台上，对玻璃基板的位置进行预对准；多个支撑元件，支撑玻璃基板；以及四组夹紧定位组件，位于预对准台的四周，对玻璃基板进行定位。本发明的基板预对准装置可同时用于基板预对准、方向检测和方向调整，同时可以满足空间较为紧张和降低成本的需求，从而提高整个基板传输系统的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN103034064A | 申请公布日期 | 2013.04.10 |
| 申请号 | CN201110298961.1 | 申请日期 | 2011.09.29 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 黄剑飞;郭鹏;徐涛 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;G01V8/10(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种光刻机基板预对准装置，其特征在于包括：预对准台，安装在一旋转台上，对玻璃基板的位置进行预对准；多个支撑元件，支撑玻璃基板；以及四组夹紧定位组件，位于预对准台的四周，对玻璃基板进行定位。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||