氮化铝陶瓷的制备方法及采用该方法制备的氮化铝陶瓷

摘要

本发明提供一种氮化铝陶瓷的制备方法及采用该方法制备的氮化铝陶瓷，通过该方法制备的氮化铝陶瓷包括氮化铝、烧结助剂，其中，烧结助剂为稀土金属氧化物、碱土金属氧化物、金属氟化物中的一种或多种，该氮化铝陶瓷的密度为3.35-3.39g/cm3，导热率为160-180K/m.k，与现有技术相比，本发明所提供的方法制得的氮化铝基片同时具备致密度高、导热性能好的特点。

主权项

一种氮化铝陶瓷的制备方法，包括以下步骤：1)称取氮化铝粉、烧结助剂、增塑剂、粘结剂、润滑剂混合配制成混合物；2)对1)步骤中所制得的混合物依次进行过筛、加压造粒、过筛，获得氮化铝陶瓷原料；3)将步骤2)中获得的氮化铝陶瓷原料，放入模具中进行热压，获得氮化铝坯；4)将步骤3)中制备的氮化铝坯在450‑600℃下保温2‑5h；5)将步骤4)中制备的氮化铝坯在真空条件下，通入氮气，在1650‑1900℃的条件下烧结，并保温后，冷却至室温，获得氮化铝陶瓷；其中，步骤3)中所述的热压的条件为先将氮化铝陶瓷原料加热到70‑170℃，然后将原料放入加热至60‑160℃的模具中，在60‑100MPa的条件下保压1‑3min；所述步骤1)所述的氮化铝粉、烧结助剂、增塑剂、粘结剂、润滑剂的重量比为83‑93∶2‑6∶1‑4∶2‑6∶1‑4。