微纳米组合结构物及其制备方法及光学器件的制备方法

摘要

本发明涉及微纳米组合结构物、微纳米组合结构的制备方法及由微纳米组合结构集成的光学器件的制备方法，上述微纳米组合结构的制备方法包括以下步骤：在基板上形成微结构的步骤；在形成有上述微结构的基板上蒸镀金属薄膜的步骤；对上述金属薄膜进行热处理使其变形为金属粒子的步骤；以及将上述金属粒子作为掩模对形成有上述微结构的基板的整面进行刻蚀，以便在形成有上述微结构的基板的上表面形成具有光波长以下的周期且末端尖锐的楔形的无反射纳米结构的步骤，从而具有不仅制备工序简单、能够将由空气与半导体物质之间的折射率之差引起的光的反射量最小化，还能够容易适用于光学器件领域的效果。

主权项

一种微纳米组合结构物，其特征在于，在基板上形成微结构；在形成有上述微结构的基板的上表面形成具有光波长以下的周期且末端尖锐的楔形的无反射纳米结构。