闭环控制式加速度计

摘要

本发明公开了一种闭环控制式加速度计，包括石英振梁加速度敏感元件和致动器；所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对，所述致动电极对，用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。致动器包括夹持梁，板状块，及连接夹持梁和板状块的支撑梁，被覆于板状块上产生致动作用力的致动电极。有加速度输入时，质量块偏离平衡位置，并引起振梁振动频率发生变化，通过检测该变化并调整相应致动电极对之间的电压，使得质量块重新回到平衡位置，实现了加速度计的闭环控制，在保持加速度计检测精度的同时提高了量程和线性度。克服为了提高石英振梁加速度计灵敏度而导致线性度和量程降低的缺点。

主权项

闭环控制式加速度计，其特征在于：包括石英振梁加速度敏感元件和致动器；所述石英振梁加速度敏感元件的质量块与致动器之间相对表面上设置有致动电极对，所述致动电极对，用于通过调整施加在致动电极对之间的电压来改变质量块的位置。