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发明名称
摘要
申请公布号 JP5179324(B2) 申请公布日期 2013.04.10
申请号 JP20080287905 申请日期 2008.11.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G02F1/13;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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