单晶硅炉保温热场排气孔结构

摘要

本实用新型公开一种单晶硅炉保温热场排气孔结构，其特征是在原单晶硅炉保温热场放大排气孔孔内放置一衬套，衬套在排气孔内留有衬套毡接口，加衬套内孔径、孔深与原单晶硅炉保温热场排气孔孔径大小、孔深相同，衬套与排气孔内壁为静摩擦接触。本实用新型在现有单晶硅炉保温热场放大排气孔加装衬套，每次拉晶之后更换方便，不会有人为清除排气孔内杂质沉积物而损伤热场，延长了保温层热场的使用寿命，降低企业生产成本。该衬套结构简单，成本低廉，具有很高的实用价值。

主权项

一种单晶硅炉保温热场排气孔结构，其特征是在原单晶硅炉保温热场放大排气孔孔内放置一碳纤维毡衬套（1），衬套内孔径、孔深与原单晶硅炉保温热场排气孔孔径大小、孔深相同，在排气孔内留有衬套毡接口（2）。