| 发明名称 | 接触探针 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种兼具导电性和耐久性并能够实现被检测体(特别是其所含的Sn)的低附着性和长期保持稳定的电接触的接触探针。本发明涉及的接触探针具有基材、和含有金属及其碳化物中的至少一种的碳被膜，该碳被膜连续地形成在接触探针的前端部到侧面部的表面上，碳被膜中的金属及其碳化物中的至少一种的含量从所述前端部朝向侧面部连续或者间断地减少。 | ||
| 申请公布号 | CN101995496B | 申请公布日期 | 2013.04.10 |
| 申请号 | CN201010247383.4 | 申请日期 | 2010.08.05 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所;株式会社钢臂功科研 | 发明人 | 平野贵之;宫本隆志 |
| 分类号 | G01R1/067(2006.01)I;G01R31/00(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I | 主分类号 | G01R1/067(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 李贵亮 |
| 主权项 | 一种接触探针，其具有基材、和含有金属及其碳化物中的至少一种的碳被膜，该碳被膜连续地形成在接触探针的前端部到侧面部的表面上，碳被膜中的金属及其碳化物中的至少一种的含量从所述前端部朝向侧面部连续或者间断地减少。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||