发明名称 |
溶液供应单元、清洁系统及其清洁方法 |
摘要 |
本发明公开一种溶液供应单元、清洁系统及其清洁方法,其中溶液供应单元包括:一容置槽体,该容置槽体容置有溶液于其中;一连接于该容置槽体的压力供应模块;一连接于该容置槽体的液体输出模块,该液体输出模块具有一管体、一设于该管体的控制阀及一设于该管体的末端的液体输出头;以及一设置于该容置槽体的检测模块。本发明的溶液供应单元可相当精准的针对应用面的需求输出所需要的清洁溶液的态样,并且具有相当高的稳定性;再者,本发明可利用检测模块监控清洁溶液的存量,以避免系统的误动作。 |
申请公布号 |
CN103028564A |
申请公布日期 |
2013.04.10 |
申请号 |
CN201110302941.7 |
申请日期 |
2011.09.30 |
申请人 |
金宝电子(中国)有限公司;金宝电子工业股份有限公司 |
发明人 |
陈忠贤;唐于斌 |
分类号 |
B08B3/02(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I |
主分类号 |
B08B3/02(2006.01)I |
代理机构 |
广州三环专利代理有限公司 44202 |
代理人 |
张超 |
主权项 |
一种溶液供应单元,其特征在于,包括:一容置槽体,该容置槽体容置有溶液于其中;一连接于该容置槽体的压力供应模块;一连接于该容置槽体的液体输出模块,该液体输出模块具有一管体、一设于该管体的控制阀及一设于该管体的末端的液体输出头;以及一设置于该容置槽体的检测模块。 |
地址 |
523850 广东省东莞市长安镇沙头管理区 |