炉体排风控制装置

摘要

本实用新型涉及半导体工艺热处理领域，尤其是涉及一种炉体排风控制装置，包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动，从而执行对风口结构单元的开启和关闭动作。本实用新型对炉体排风的开关机构进行有效控制，使炉体排风控制可靠安全；同时能够有效阻挡炉体热量的逸出，具有良好的隔热效果；本实用型新的炉体排风控制装置结构简单，能够进行精确运作，且成本较低。

主权项

一种炉体排风控制装置，其特征在于，其包括气压驱动单元、开关机构和风口结构单元，所述的开关机构设置有开关主体，所述的气压驱动单元可驱动该开关主体，使该开关主体直线往复运动。