发明名称 |
一种生长在Si衬底上的LED外延片及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种生长在Si衬底上的LED外延片,其特征在于:包括Si衬底层、生长在Si衬底层上的Al2O3保护层,在Al2O3保护层上依次生长出u-GaN缓冲层、n-GaN层、InGaN/GaN量子阱层及p-GaN层。本发明还公开了上述LED外延片的制备方法。与现有技术相比,本发明的生长在Si衬底上的LED外延片具有优异的电学、光学性质,晶体质量高,缺陷密度低的优点。 |
申请公布号 |
CN103035794A |
申请公布日期 |
2013.04.10 |
申请号 |
CN201210534913.2 |
申请日期 |
2012.12.11 |
申请人 |
广州市众拓光电科技有限公司 |
发明人 |
李国强 |
分类号 |
H01L33/12(2010.01)I;H01L33/02(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;C30B25/02(2006.01)I;C30B25/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L33/12(2010.01)I |
代理机构 |
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 |
代理人 |
汤喜友 |
主权项 |
一种生长在Si衬底上的LED外延片,其特征在于:包括Si衬底层、生长在Si衬底层上的Al2O3保护层,在Al2O3保护层上依次生长出u‑GaN缓冲层、n‑GaN层、InGaN/GaN量子阱层及p‑GaN层。 |
地址 |
510000 广东省广州市广州高新技术产业开发区科学城南翔一路62号厂房 |