一种束流位置监测器的焊接工艺

摘要

本发明公开了一种束流位置监测器的焊接工艺，采用电子束焊接机在超真空状态下焊接腔体与腔体、腔体与法兰、腔体与电极，焊接前先对腔体和电极进行真空清洗，焊接完成后，进行真空检漏。本发明的优点是采用电子束焊接束流位置监测器腔体与法兰和电极时，不会造成电极陶瓷窗损坏，四个电极的耦合系数一致性很好，同时束流位置监测器两端法兰的平行度和与束轴的垂直度精度高，减小了在法兰与腔体焊接过程中引入的误差，大大提高了束流位置监测器的性能和制造成功率，经真空测试表明，整体束流位置监测器的平均真空度达到2.0×10-9帕斯卡升/秒，远高于通常要求的10-8级帕斯卡升/秒。

主权项

一种束流位置监测器的焊接工艺，其特征在于：采用电子束焊接机在超真空状态下焊接腔体与腔体、腔体与法兰、腔体与电极，焊接前先对腔体和电极进行真空清洗，部件焊接顺序为：先焊接腔体与电极，然后焊接腔体与腔体，最后焊接腔体与法兰；焊接完成后，进行真空检漏。