发明名称 阻变存储器件及其制备方法
摘要 本发明实施例公开了一种阻变存储器件及其制备方法。该阻变存储器件包括设置在衬底上的底电极、设置在所述底电极上的第一阻变层、设置在所述第一阻变层上的控制层及设置在所述控制层上的顶电极,所述控制层包括位于所述第一阻变层表面上的第一电极、第二电极及填充在所述第一电极和所述第二电极之间的第二阻变层,所述顶电极设置在所述第二阻变层上。本发明实施例所提供的阻变存储器件及其制备方法,可以实现阻变存储器件的多值存储,从而可以大幅度增加由阻变存储器件构成的存储器的存储密度。
申请公布号 CN103035838A 申请公布日期 2013.04.10
申请号 CN201210555309.8 申请日期 2012.12.19
申请人 北京大学 发明人 蔡一茂;毛俊;黄如;王宗巍;刘业帆;余牧溪
分类号 H01L45/00(2006.01)I;G11C13/00(2006.01)I 主分类号 H01L45/00(2006.01)I
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人 俞波;许伟群
主权项 一种阻变存储器件,其特征在于,包括设置在衬底上的底电极、设置在所述底电极上的第一阻变层、设置在所述第一阻变层上的控制层及设置在所述控制层上的顶电极,所述控制层包括位于所述第一阻变层表面上的第一电极、第二电极及填充在所述第一电极和所述第二电极之间的第二阻变层,所述顶电极设置在所述第二阻变层上。
地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号
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