差压式质量流量控制器中的诊断机构

摘要

本发明提供一种差压式质量流量控制器(A)的诊断机构，其可适当地发现阻抗体孔道阻塞等问题，而以高精度诊断有无异常。通过使得设置于流体流动的流路上的流量控制阀(2Va)从流量控制状态转变为关闭状态，可以使得阻抗体(3)的导入出口之间产生差压，该阻抗体(3)的导入口(31)侧及导出口(32)侧分别连接设置有入口侧传感器(4)及出口侧传感器(5)。差压式质量流量控制器(A)的诊断机构包含：诊断用参数计算部(2f)，从该两个传感器中的入口侧传感器(4)的下降的压力值，通过积分运算计算质量流量积分值，再由计算出的质量流量积分值计算诊断用体积值；及比较部(2h)，将通过诊断用参数计算部(2f)计算出的诊断用体积值与规定的体积值相比较。

主权项

一种流量控制装置(A)中的诊断机构，包含：阀控制信号输出部(2e、2E)，输出使得设置于流体流动的流路(1)上的阀(2Va)转变为关闭状态用的信号；信号接受部(2a)，接受来自在所述流路(1)上设置的差压产生用阻抗体(3)中、分别设置于其导入口(31)侧及导出口(32)侧的压力传感器的检测信号；诊断用参数计算部(2f、2F)，在所述阀(2Va)从流量控制状态转变为关闭状态时，求得由所述检测信号得到的导入口(31)侧或导出口(32)侧的压力从设定的第1压力变化为设定的第2压力的期间的质量流量积分值或体积流量积分值，再将该求得的质量流量积分值或体积流量积分值代入气体的状态方程式，计算诊断用参数；及比较部(2h)，将该诊断用参数的数值与预定的规定值相比较。