PID传感器电离气室结构

摘要

本实用新型涉及一种PID传感器电离气室结构，其技术特点是：包括气室、气室盖、PID传感器和PID电路板，气室盖内设有气室盖气路，该气室盖安装在气室顶部，在气室的上表面设有出气口，在气室的侧表面设有进气口，进气口和出气口分别与气室内设有的气室通路相连接，该气室通路的两端分别与气室盖气路相连通，PID电路板固装在气室的底部，PID传感器插装在PID电路板上的传感器插座上，PID传感器的上端中部设有PID电离窗口，该电离窗口与气室盖气路中部下方相连通。本实用新型在进气口前端安装电磁阀以控制多路气体切换，并在出口气后端安装气泵以控制气室通路的气体流速，同时，PID传感器可插拔地安装在PID电路板上，打开气室盖即可方便地更换PID传感器。

主权项

一种PID传感器电离气室结构，其特征在于：包括气室、气室盖、PID传感器和PID电路板，气室盖内设有气室盖气路，该气室盖安装在气室顶部，在气室的上表面设有出气口，在气室的侧表面设有进气口，进气口和出气口分别与气室内设有的气室通路相连接，该气室通路的两端分别与气室盖气路相连通，PID电路板固装在气室的底部，PID传感器插装在PID电路板上的传感器插座上，PID传感器的上端中部设有PID电离窗口，该电离窗口与气室盖气路中部下方相连通。