一种新型薄膜太阳电池激光刻蚀装置

摘要

本实用新型公开了一种新型薄膜太阳电池激光刻蚀装置，包括激光器、扩束镜、聚焦镜和光束整形装置，所述扩束镜安装于激光器和聚焦镜之间，所述光束整形装置安装于激光器和所述扩束镜之间。本实用新型使用近似平顶的激光光斑对太阳电池的膜层进行刻划，相比高斯光斑，使用均匀光斑对激光能量利用的更加充分，便于激光功率的有效调整，降低边缘能量的损失；光斑内能量分布均匀，可以有效、准确的调节激光能量，刻蚀效果好，不损伤底层薄膜、残留物少，对要刻蚀薄膜以外的电池损伤小，改善刻蚀效果，对于衬底不透明，刻蚀难度较大的薄膜电池，使用均匀光斑可以从膜层正面刻蚀，提高激光刻蚀效果，更适宜工业应用。

主权项

一种新型薄膜太阳电池激光刻蚀装置，包括激光器、扩束镜和聚焦镜，所述扩束镜安装于所述激光器和所述聚焦镜之间，其特征在于：还包括光束整形装置，所述光束整形装置安装于所述激光器和所述扩束镜之间。