等离子刻蚀机反应室

摘要

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及一种晶体硅太阳能电池等离子刻蚀工艺中等离子刻蚀机反应室，反应室本体底部设有旋转平台，采用高强度硬铝材料焊接而成的反应室本体一侧设有源部件接口；所述单相低速电机的输出轴与旋转平台的旋转轴连接并在单相低速电机输出轴与旋转平台旋转轴的连接处通过磁流体密封；所述源部件接口处安装进气法兰，并在进气法兰外周安装永磁体，且进气法兰外端面安装用于密封源部件接口的密封件。本实用新型采用永磁体提高了等离子体的密度，加快了刻蚀速率；能够实现一次装片800片，提高生产效率。

主权项

一种等离子刻蚀机反应室，包括反应室本体（1），反应室本体（1）底部设有旋转平台（4），其特征是，采用高强度硬铝材料焊接而成的反应室本体（1）一侧设有源部件接口；所述单相低速电机（10）的输出轴与旋转平台（4）的旋转轴连接并在单相低速电机（10）输出轴与旋转平台（4）旋转轴的连接处通过磁流体（5）密封；所述源部件接口处安装进气法兰（2），并在进气法兰（2）外周安装永磁体（7），且进气法兰（2）外端面安装用于密封源部件接口的密封件（3）。