| 发明名称 |
一种用于晶圆制造的传送手臂 |
| 摘要 |
本发明提供一种用于晶圆制造的传送手臂，包括一呈Y形的机械手臂和设置在机械手臂上的至少两个吸嘴，每个所述吸嘴通过真空通道分别与一独立的真空系统连通。其有益效果是，通过将传送手臂上的吸嘴分别连通独立的真空系统，使传送手臂在吸取翘曲较大的晶圆时，不容易出现真空丢失，解决了晶圆因吸附不牢固而丢失的问题。 |
| 申请公布号 |
CN103035553A |
申请公布日期 |
2013.04.10 |
| 申请号 |
CN201110297456.5 |
申请日期 |
2011.09.30 |
| 申请人 |
深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司 |
发明人 |
刘若鹏;赵治亚;法布里奇亚·盖佐;李国振 |
| 分类号 |
H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
一种用于晶圆制造的传送手臂，包括一呈Y形的机械手臂和设置在机械手臂上的至少两个吸嘴，其特征在于：每个所述吸嘴通过真空通道分别与一独立的真空系统连通。 |
| 地址 |
518000 广东省深圳市南山区高新区中区高新中一道9号软件大厦 |
