抗蚀剂膜形成用装置和方法以及模具原版制造用方法

摘要

本发明提供了抗蚀剂膜形成用装置和方法以及模具原版制造用方法。所述装置包括：涂布部，其被设置成在让基板旋转的同时使抗蚀剂滴落、旋转并铺开；加热部，其被设置用于加热样品，所述样品中在所述基板上涂布有所述抗蚀剂；计量部，其被设置用于测量正在被加热的所述样品的重量；以及控制部，其被设置成通过如下方式来控制多个抗蚀剂层在所述样品上的层叠：基于所测量到的所述样品的重量，执行所述加热部的加热操作直到从涂布于所述样品上的抗蚀剂中蒸发掉预定量的溶剂，由此实现在所述基板上形成抗蚀剂层的工序，并且通过对所述涂布部和所述加热部进行同样的控制，使在形成于所述样品上的抗蚀剂层上形成新的抗蚀剂层的工序重复预定的次数。

主权项

一种抗蚀剂膜形成用装置，其包括：涂布部，所述涂布部被设置成在让基板旋转的同时使抗蚀剂滴落、旋转并铺开；加热部，所述加热部被设置用于加热样品，所述样品中在所述基板上涂布有所述抗蚀剂；计量部，所述计量部被设置用于测量正在被所述加热部加热的所述样品的重量；以及控制部，所述控制部被设置成通过如下方式来控制多个抗蚀剂层在所述样品上的层叠：基于由所述计量部测量到的所述样品的重量，执行所述加热部的加热操作直到从涂布于所述样品上的抗蚀剂中蒸发掉预定量的溶剂，以此实现在所述基板上形成抗蚀剂层的工序，并且通过对所述涂布部和所述加热部进行同样的控制，使在形成于所述样品上的抗蚀剂层上形成新的抗蚀剂层的工序重复预定的次数。