倒8字形太赫兹波滤波器

摘要

本发明公开了一种倒8字形太赫兹波滤波器。它包括太赫兹波输入端、太赫兹波输出端、高阻硅基体；高阻硅基体上刻蚀有倒8字形凹槽和三角形凹槽阵列，倒8字形凹槽和三角形凹槽阵列组成一个中心对称结构，倒8字形凹槽由左上侧半圆弧凹槽、左下侧半圆弧凹槽、右上侧半圆弧凹槽、右下侧半圆弧凹槽顺次连接而成，三角形凹槽阵列由等边三角形凹槽组成，等边三角形凹槽等间距排列在左上侧半圆弧凹槽、左下侧半圆弧凹槽、右上侧半圆弧凹槽、右下侧半圆弧凹槽的内侧。本发明具有优良的窄带带通滤波特性，插入损耗低、结构简单新颖、尺寸小、便于制作及易于集成等优点。满足在太赫兹波医学成像、无损探测、太赫兹波通信系统等领域应用的要求。

主权项

一种倒8字形太赫兹波滤波器，其特征在于包括太赫兹波输入端（1）、太赫兹波输出端（2）、高阻硅基体（3）；高阻硅基体（3）上刻蚀有倒8字形凹槽（4）和三角形凹槽阵列（5），倒8字形凹槽（4）和三角形凹槽阵列（5）组成一个中心对称结构，倒8字形凹槽（4）由左上侧半圆弧凹槽（6）、左下侧半圆弧凹槽（7）、右上侧半圆弧凹槽（8）、右下侧半圆弧凹槽（9）顺次连接而成，三角形凹槽阵列（5）由左上侧三角形凹槽阵列（10）、左下侧三角形凹槽阵列（11）、右上侧三角形凹槽阵列（12）、右下侧三角形凹槽阵列（13）组成，凹槽阵列均由等边三角形凹槽（14）组成，等边三角形凹槽（14）等间距排列在左上侧半圆弧凹槽（6）、左下侧半圆弧凹槽（7）、右上侧半圆弧凹槽（8）、右下侧半圆弧凹槽（9）的内侧，左上侧三角形凹槽阵列（10）和右下侧三角形凹槽阵列（13）的等边三角形凹槽（14）个数均为18~19，左下侧三角形凹槽阵列（11）和右上侧三角形凹槽阵列（12）的等边三角形凹槽（14）个数均为16~17；太赫兹波从太赫兹波输入端（1）垂直入射，经过刻蚀有倒8字形凹槽（4）和三角形凹槽阵列（5）的高阻硅基体（3），达到太赫兹波输出端（2），实现对太赫兹波信号的滤波功能。