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经营范围
发明名称
Charged-particle microscopy imaging method
摘要
申请公布号
EP2557586(A3)
申请公布日期
2013.04.10
申请号
EP20120179763
申请日期
2012.08.09
申请人
FEI COMPANY
发明人
BOUGHORBEL, FAYSAL;LICH, BEN;KOOIJMAN, CEES;BOSCH, ERIC;DE JONG, FRANK
分类号
H01J37/22;H01J37/28
主分类号
H01J37/22
代理机构
代理人
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