发明名称 Charged-particle microscopy imaging method
摘要
申请公布号 EP2557586(A3) 申请公布日期 2013.04.10
申请号 EP20120179763 申请日期 2012.08.09
申请人 FEI COMPANY 发明人 BOUGHORBEL, FAYSAL;LICH, BEN;KOOIJMAN, CEES;BOSCH, ERIC;DE JONG, FRANK
分类号 H01J37/22;H01J37/28 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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