一种防指纹薄膜的制备方法及由该方法制备的防指纹薄膜

摘要

本发明提供了一种防指纹薄膜的制备方法及由该方法制备的防指纹薄膜，所述方法采用磁控溅射在基材表面形成防指纹薄膜，所述磁控溅射采用的靶材为含氟有机物，磁控溅射过程中充入反应气体，所述反应气体为CF4和N2的混合气体。由本方法制备的防指纹薄膜含有F、C、N三种元素，且氟碳比大于或等于2:1。高氟碳比使薄膜具有优异的防污效果，同时本发明的薄膜具有透光率高，附着力强，耐磨性好的特点，适用于大尺寸触摸屏。

主权项

一种防指纹薄膜的制备方法，采用磁控溅射在基材表面形成防指纹薄膜，所述磁控溅射采用的靶材为含氟有机物，其特征在于：磁控溅射过程中充入反应气体，所述反应气体为CF4和N2的混合气体。