含周期性涂层的复合涂层刀具及其制备方法

摘要

本发明公开了一种含周期性涂层的复合涂层刀具，包括刀具基体和在刀具基体上沉积的复合涂层，复合涂层包括位于TiAlN基底层和周期性涂层，该周期性涂层是以“TiSiN层到TiAlSiN层到TiSiN层到TiAlN层”为一个循环周期的多周期涂层。其制备方法为：先采用物理气相沉积工艺并利用TiAl靶在刀具基体上可选择性地沉积TiAl金属层，然后利用TiAl靶沉积TiAlN基底层，再在TiAlN基底层上以“TiSiN层-TiAlSiN层-TiSiN层-TiAlN层”为一个循环周期，并采用多靶交替沉积方式沉积多周期涂层，直至复合涂层的总厚度达到2μm～12μm。本发明的复合涂层刀具具有高硬度、高强度、优异的高温抗氧化能力、高温稳定性及时效硬化特性等优点，并且涂层与基体之间表现出良好的结合强度。

主权项

一种含周期性涂层的复合涂层刀具，包括刀具基体和在所述刀具基体上沉积的复合涂层，其特征在于：所述复合涂层包括位于底层的TiAlN基底层和位于表层的周期性涂层，该周期性涂层是以“TiSiN层到TiAlSiN层到TiSiN层到TiAlN层”为一个循环周期的多周期涂层；所述TiAlN基底层的厚度为0.8µm～6µm；所述复合涂层还包括有一覆于所述刀具基体表面的TiAl金属层，所述TiAlN基底层覆于所述TiAl金属层上。