光束整形元件光学性能的检测装置和检测方法

摘要

一种用于紫外光刻机的光束整形元件的光学性能的检测装置和检测方法，装置的构成包括可见激光器，在该可见激光器输出激光的方向同光轴地依次设有扩束镜组、分束镜、第一远场成像透镜、可调光阑或CCD图像传感器、第二远场成像透镜和第二能量传感器。本发明适用于任何紫外波段的光束整形元件的光学性能检测，而且具有成本低，使用简便，测量快速的特点。

主权项

一种用于紫外光刻机的光束整形元件的光学性能的检测装置，构成包括激光器（201），在该激光器（201）输出激光的方向同光轴地依次设有扩束镜组（202）、分束镜（203）、第一远场成像透镜（206）、可调光阑（208）、第二远场成像透镜（209）和第二能量传感器（210）；所述的分束镜（203）与所述的光轴成45°设置，在该分束镜（203）的反射光方向设有第一能量传感器（204）；待测光束整形元件（205）位于所述的第一远场成像透镜（206）的物方焦面，所述的第一远场成像透镜（206）、第二远场成像透镜（209）的焦距均为f，第一远场成像透镜（206）和第二远场成像透镜（209）之间的距离为2f，所述的第二能量传感器（210）位于所述的第二远场成像透镜（209）的像方焦面；在所述的第一远场成像透镜（206）和第二远场成像透镜（209）的共焦面设置所述的可调光阑（208），或设置CCD图像传感器（207‑2），该CCD图像传感器（207‑2）的感光面的中心具有中心遮拦（207‑1），其特征在于所述的激光器为可见激光器。