用于微粒去除的清洁材料组合物

摘要

本发明的具体实施方式提供了已改进的用于清洗具有细小特征的图案化衬底的材料。该清洁材料在清洗具有细小特征的图案化衬底而不实质性破坏该特征方面具有优势。该清洁材料为流体，或者为液相，或者为液/气相，且依器件的特征而变形；因此，该清洁材料不会实质性破坏该器件的特征或同时减少损坏。要辅助从晶片(或衬底)表面去除微粒，该聚合物的聚合化合物可以包含极性官能团，该极性官能团能够与晶片表面上的水解微粒建立起极-极分子间作用力和氢键。具有大分子量的聚合化合物的聚合物形成长聚合物链和聚合物网。与传统的清洁材料相比，该长聚合物链和聚合物网显示出优秀的捕捉和俘获污染物的能力。该聚合物的聚合化合物也可以包括在清洁溶液中携带电荷的官能团。该聚合物的官能团的电荷提高该微粒的去除效率。

主权项

一种应用于衬底的表面以从所述表面去除微粒的清洁材料，包括：极性溶剂；用于改变所述清洁材料的pH值的缓冲剂，其中所述缓冲剂和所述溶剂形成清洁溶液；和具有分子量大于10,000g/mol的聚合化合物的聚合物，其中，所述聚合物可溶于所述清洁溶液以形成所述清洁材料，溶解的所述聚合物形成长聚合物链和聚合物网以从所述衬底的所述表面捕捉和俘获至少一部分的所述微粒，且其中所述聚合化合物具有极性官能团，所述聚合化合物的所述极性官能团与水解于所述溶剂中的所述微粒建立范德华力以帮助从所述衬底的所述表面去除所述微粒，且其中所述聚合化合物包括部分水解的聚丙烯酰胺，所述部分水解的聚丙烯酰胺中丙烯酸的摩尔百分比为22%到42%。