发明名称 |
压电器件及其制造方法以及液体喷射头 |
摘要 |
一种压电器件,包括:基板;层积在基板上方的第一电极;层积在第一电极上方的第一压电膜;层积在第一压电膜上方的金属氧化物膜;层积在金属氧化物膜上方的金属膜;层积在金属膜上方的第二压电膜;以及层积在第二压电膜上方的第二电极,其中第一压电膜的极化方向和第二压电膜的极化方向彼此不同。 |
申请公布号 |
CN103035835A |
申请公布日期 |
2013.04.10 |
申请号 |
CN201210448662.6 |
申请日期 |
2012.09.28 |
申请人 |
富士胶片株式会社 |
发明人 |
藤井隆满;菱沼庆一 |
分类号 |
H01L41/08(2006.01)I;H01L41/083(2006.01)I;H01L41/27(2013.01)I;H01L41/253(2013.01)I;B41J2/045(2006.01)I;B41J2/135(2006.01)I |
主分类号 |
H01L41/08(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人 |
陈松涛;韩宏 |
主权项 |
一种压电器件,包括:基板;层积在所述基板上方的第一电极;层积在所述第一电极上方的第一压电膜;层积在所述第一压电膜上方的金属氧化物膜;层积在所述金属氧化物膜上方的金属膜;层积在所述金属膜上方的第二压电膜;以及层积在所述第二压电膜上方的第二电极,其中,所述第一压电膜的极化方向与所述第二压电膜的极化方向彼此不同。 |
地址 |
日本东京 |