发明名称 压电器件及其制造方法以及液体喷射头
摘要 一种压电器件,包括:基板;层积在基板上方的第一电极;层积在第一电极上方的第一压电膜;层积在第一压电膜上方的金属氧化物膜;层积在金属氧化物膜上方的金属膜;层积在金属膜上方的第二压电膜;以及层积在第二压电膜上方的第二电极,其中第一压电膜的极化方向和第二压电膜的极化方向彼此不同。
申请公布号 CN103035835A 申请公布日期 2013.04.10
申请号 CN201210448662.6 申请日期 2012.09.28
申请人 富士胶片株式会社 发明人 藤井隆满;菱沼庆一
分类号 H01L41/08(2006.01)I;H01L41/083(2006.01)I;H01L41/27(2013.01)I;H01L41/253(2013.01)I;B41J2/045(2006.01)I;B41J2/135(2006.01)I 主分类号 H01L41/08(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 陈松涛;韩宏
主权项 一种压电器件,包括:基板;层积在所述基板上方的第一电极;层积在所述第一电极上方的第一压电膜;层积在所述第一压电膜上方的金属氧化物膜;层积在所述金属氧化物膜上方的金属膜;层积在所述金属膜上方的第二压电膜;以及层积在所述第二压电膜上方的第二电极,其中,所述第一压电膜的极化方向与所述第二压电膜的极化方向彼此不同。
地址 日本东京