发明名称 |
功能性溶液供给系统 |
摘要 |
本发明的目的在于高效地生成作为功能性溶液的硫酸电解液,并且在抑制通过电解生成的过硫酸的自分解的情况下将其高效地供给至使用侧。本发明是一种功能性溶液供给系统,该系统是通过电解硫酸溶液来制造功能性溶液并供给至使用侧的功能性溶液供给系统,其特征在于,该系统包括用于贮留硫酸溶液的贮留槽(2)、用于电解硫酸溶液的电解装置(电解室(3))、用于对硫酸溶液加温的加温单元(加热器(4))、用于冷却硫酸溶液的冷却单元(冷却器(4))、以及下述的3个循环管路:第一循环管路(11),该第一循环管路(11)不经由加温单元、而是经由电解装置将从贮留槽(2)排出的硫酸溶液返回至所述贮留槽(2);第二循环管路(12),该第二循环管路(12)不经由加温单元、而是依次经由冷却单元和所述贮留槽(2)将从使用侧(洗涤机(1))导入的硫酸溶液返回至使用侧;第三循环管路(13),该第三循环管路(13)不经由冷却单元和所述贮留槽(2)、而是经由加温单元(加热器(4))将从所述使用侧导入的硫酸溶液返回至所述使用侧。 |
申请公布号 |
CN102057470B |
申请公布日期 |
2013.04.10 |
申请号 |
CN200980121999.2 |
申请日期 |
2009.03.11 |
申请人 |
栗田工业株式会社 |
发明人 |
内田稔;永井达夫;山川晴义 |
分类号 |
H01L21/304(2006.01)I;C25B1/30(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/304(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
冯雅;胡烨 |
主权项 |
一种功能性溶液供给系统,该系统是通过电解硫酸溶液来制造功能性溶液并供给至使用侧的功能性溶液供给系统,其特征在于,该系统包括用于贮留硫酸溶液的贮留槽、用于电解硫酸溶液的电解装置、用于对硫酸溶液加温的加温单元、用于冷却硫酸溶液的冷却单元、以及下述的3个循环线路;(1)第一循环管路,该第一循环管路不经由所述加温单元、而是经由所述电解装置将从所述贮留槽排出的硫酸溶液返回至所述贮留槽;(2)第二循环管路,该第二循环管路不经由所述加温单元、而是依次经由所述冷却单元和所述贮留槽将从所述使用侧导入的硫酸溶液返回至所述使用侧;(3)第三循环管路,该第三循环管路不经由所述冷却单元和所述贮留槽、而是经由所述加温单元将从所述使用侧导入的硫酸溶液返回至所述使用侧。 |
地址 |
日本东京 |