| 发明名称 |
IN-PLACE MANAGEMENT OF SEMICONDUCTOR EQUIPMENT RECIPES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20130035269(A) |
申请公布日期 |
2013.04.08 |
| 申请号 |
KR20137003352 |
申请日期 |
2011.05.24 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
DAVID DOMINIC GERALD;LEE CHRIS W. |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/02;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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