PROCEDE DE DOUBLE REPORT DE COUCHE

摘要

Procédé de transfert d'une couche (1) comprenant : a) fourniture d'une couche (1) solidaire d'un substrat initial (4) avec une énergie de liaison EO; b) collage d'une face avant (8) de la couche (1) sur un substrat intermédiaire (5) selon une énergie de collage intermédiaire Ei; c) détachement du substrat initial (4) de la couche (1) e) collage d'une face arrière (9) sur un substrat final (11) selon une énergie de collage final Ef; et f) décollement du substrat intermédiaire (5) de la couche (1) pour transférer la couche (1) sur le substrat final (11); l'étape c) étant réalisée sous une première atmosphère et l'étape f) étant réalisée sous une deuxième atmosphère différente de sorte que l'énergie de collage intermédiaire Ei prend une première valeur Ei 1 à l'étape c) et une deuxième valeur Ei2 à l'étape f), avec Ei1 > EO et Ei2 < Ef.