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<p>L'invention concerne un procédé de mesure d'une épaisseur Delta d'un échantillon (1), caractérisé en ce qu'il comporte les étapes selon lesquelles - une source (2) d'un faisceau (20) de rayonnement de chauffage excite (S1) l'échantillon (1) de manière périodique à une fréquence (f), pour obtenir une excitation thermique périodique de l'échantillon (1) ; - un capteur (3) mesure (S2) une réponse thermique périodique de l'échantillon, en réponse à l'excitation thermique périodique ; - un processeur (4) détermine (S3) un déphasage (φ) entre l'excitation thermique périodique et la réponse thermique périodique ; la source (2) excitant l'échantillon pour une pluralité de fréquences (f) et le processeur (4) déterminant un déphasage pour chaque fréquence (f), et déterminant ainsi une pluralité de déphasages (φ) ; - le processeur (4) - détermine (S4) un minimumφdu déphasage (φ) grâce à la pluralité de déphasages ainsi déterminée, et - détermine (S5) l'épaisseur Delta de l'échantillon (1) par une formule du type : Delta = r *g(φ) où r0 est le rayon du faisceau de rayonnement de chauffage, et g une fonction qui dépend du type de faisceau (20) de rayonnement de chauffage. L'invention concerne également un système de mise en oeuvre du procédé.</p> |
