Vorrichtung für den Wärme- oder Stoffübergang mit hexagonalen Prallstrahldüsen und Verfahren zur Behandlung von Oberflächenschichten

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung für den Wärme- und Stoffübergang, insbesondere zum Trocknen von dünnen Schichten oder Beschichtungen. Im Vordergrund steht hierbei ein Prallstrahlfeld (3) mit hexagonalen Prallstrahldüsen (5) und der darum angeordneten Effusionsöffnungen (4). Durch diese Geometrie der Ausstrahl- und Ansaugdüsen ergibt sich ein besonders günstiger Wärme-/Stoffübergangskoeffizient bei ausgezeichneter Homogenität. Daher ist diese Vorrichtung vorteilhaft für die Trocknung sensibler Bauteile. Weiterhin ist die Vorrichtung gut geeignet für Abscheideprozesse auf Oberflächen. Darüber hinaus wird eine Trocknungshaube unter Verwendung besagter Vorrichtung vorgeschlagen. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Behandlung von Oberflächenschichten, insbesondere der schonenden Trocknung organischer(opto-)elektronischer Bauteile.