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发明名称 Schichttransfer unter Verwendung einer mit Bor dotierten SiGe-Schicht
摘要
申请公布号 DE112011100445(T5) 申请公布日期 2013.04.04
申请号 DE201111100445T 申请日期 2011.02.01
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BEDELL, STEPHEN;SADANA, DEVENDRA;FOGEL, KEITH;VICHICONTI, JAMES;KIM, JEE HWAN;INNS, DANIEL
分类号 H01L21/18 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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