| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Mikroskopvorrichtung mit einen Objektiv (22), einer Lichtquelle (10) zum Beleuchten einer Probe (24) über einen Beleuchtungsstrahlengang (12), einer Anordnung (14, 18, 22, 50) zum Erzeugen eines flächigen, im beiden Raumrichtungen strukturierten Beleuchtungsmusters (32) auf der Probe, einem Flächen-Detektor (28) zum Erfassen von über einen Bildstrahlengang (34) von der Probe kommender Licht, einer Anordnung (16) zum Verschieben des Beleuchtungsmuster auf der Probe in einer Verschieberichtung, sowie einer Steuereinheit (36), die ausgebildet ist, um in unterschiedlichen Positionen des Musters entlang der Verschieberichtung (42) jeweils ein Bild des vom Detektor erfassten Lichts als Phasenbild aufzunehmen und aus diesen Phasenbildern ein Gesamtbild des beleuchteten Probenbereichs rechnerisch zu rekonstruieren. Die Verschieberichtung steht schräg zu den Hauptsymmetrieachsen (40, 40', 40'', 140, 140') des Beleuchtungsmusters (32) und wird in Abhängigkeit vom Beleuchtungsmuster so gewählt, dass die Zahl der für die Bildrekonstruktion erforderlichen Phasenbilder dem theoretisch minimal erforderlichen Wert entspricht. |
