发明名称 Dispositivo eléctrico que comprende una capacitancia o capacidad dependiente del voltaje o tensión y método de fabricación del mismo
摘要 Un método para fabricar un dispositivo eléctrico que tiene una capacitancia o capacidad dependiente de voltaje otensión por medio de un proceso CMOS convencional que comprende las operaciones de: formar una región de pozo (82) en un sustrato semiconductor (80); formar una primera capa de aislamiento sobre la superficie de la región de pozo; formar una primera capa de poli-silicio sobre la capa de aislamiento; formar una primera capa de máscara sobre la capa de poli-silicio; exponer la primera capa de máscara y atacar químicamente la capa de máscara; atacar químicamente el poli-silicio en áreas donde la primera capa de mascara ha sido atacada químicamentepara formar una primera región de electrodo (86); quitar el resto de la primera capa de máscara; formar una segunda región de electrodo que comprende una pluralidad de regiones de dedos (83, 84, 91),separadas por regiones de separación, la primera región de electrodo (86) extendiéndose a lo largo de losbordes de las regiones de los dedos (83, 84, 91), y las regiones de los dedos empleando la primera región deelectrodo como una máscara; y la segunda región de electrodo comprendiendo además una región desemiconductor (90) que conecta las regiones de los dedos (83, 84, 91).
申请公布号 ES2400000(T3) 申请公布日期 2013.04.04
申请号 ES20080160622T 申请日期 1997.09.11
申请人 TELEFONAKTIEBOLAGET LM ERICSSON (PUBL) 发明人 MATTISSON, SVEN;LITWIN, ANDREJ
分类号 H01L29/94;H03B5/12;H03L7/099 主分类号 H01L29/94
代理机构 代理人
主权项
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