一种溶胶凝胶法制备高浓度钽酸锂薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种溶胶凝胶法制备高浓度钽酸锂薄膜的方法，其步骤如下：（1）将无水乙酸锂溶于高溶解度的溶剂中，加热并磁力搅拌至乙酸锂完全溶解；（2）在大气环境中，按Li+与Ta5+的摩尔比准确加入乙醇钽，磁力搅拌至前驱体充分反应，得到棕黄色透明胶体；（3）采用旋涂法制备湿膜；（4）在大气通氧气氛下热处理使薄膜干燥并结晶；（5）重复（3）和（4）至得到所需厚度的钽酸锂结晶薄膜。本方法克服了目前溶胶凝胶法制备钽酸锂薄膜时需要惰性气体保护、绝对干燥等严苛的实验要求，解决了前驱体浓度过低的问题，大大降低旋涂与热处理次数，可制备均匀、平整、致密、热释电性能良好的钽酸锂纳米结晶薄膜。

主权项

一种溶胶凝胶法制备高浓度钽酸锂薄膜的方法，其特征在于，其步骤如下：（1）将无水乙酸锂溶于高溶解度的溶剂中，加热并磁力搅拌至乙酸锂完全溶解;（2）在大气环境中，按Li+与Ta5+的摩尔比准确加入乙醇钽，磁力搅拌至前驱体充分反应，得到棕黄色透明胶体;（3）采用旋涂法制备湿膜；（4）在大气通氧气氛下热处理使薄膜干燥并结晶；（5）重复（3）和（4）至得到所需厚度的钽酸锂结晶薄膜。