光催化剂的制造方法和光催化剂的制造装置

摘要

本发明的光催化剂的制造方法，通过形成非晶的氧化钛，在含氧气氛中进行热处理，可以得到具有良好光催化作用的光催化剂。特别是利用反应性溅射法，在低温下以高成膜速度进行堆积，得到非晶的氧化钛。使用设有冷却手段的溅射装置，可以提高成膜工序的产量。

主权项

一种制造光催化剂的方法，其特征在于，包括：在比大气压减压的气氛中通过使用含有钛的靶和氧气的反应性溅射法在基体上形成非晶氧化钛的第1工序、在大气压的大气中加热所述氧化钛从而使其至少一部分结晶化成锐钛矿的第2工序、和在所述第2工序后在比大气压减压的气氛中使氧化物构成的包敷层形成于所述氧化钛上而通过所述的包覆层将所述氧化钛的表面连续地包覆的第3工序。