成膜装置和成膜方法

摘要

一种成膜装置及成膜方法。成膜装置具有向喷出容器内喷出有机EL分子气体的结构，具有多个有机EL原料容器、连接多个有机EL原料容器和喷出容器的配管系，多个有机EL原料容器有选择地成为有机EL分子供给状态，该配管系供给输送气体，使得在各有机EL原料容器内，在成膜时和非成膜时成为相同的压力。在非成膜时，输送气体从有机EL原料容器之一流向其它原料容器。

主权项

一种成膜装置，其特征在于，具有通过对原料进行加热而使该原料气化的气化机构、用输送气体输送气化的所述原料而在衬底上堆积规定材料的膜的喷出容器，向所述气化机构内流动所述输送气体，使得在所述规定材料的非成膜时，所述气化机构内的气相压力成为与所述规定材料的成膜时相同的压力。