一种全背电极n型电池前表面场和后表面场同时形成的工艺

摘要

本发明公开了一种全背电极n型电池前表面场和后表面场同时形成的工艺，包括步骤：（1）表面制绒；（2）双面磷扩散；（3）背面局部区域保护；（4）背面单面去除保护层外磷硅玻璃层；（5）腐蚀去除保护层外的磷扩散层；（6）去除保护层和磷硅玻璃层，形成前表面场和背表面场。本发明通过改进制备工艺使电池在生产过程中同时形成前表面场和背表面场，能够有效节约制备时间，降低生产成本，有利于提高市场竞争力。

主权项

一种全背电极n型电池前表面场和后表面场同时形成的工艺，其特征在于：包括以下步骤（a）双面制绒：硅片在碱性溶液中腐蚀20~40min，溶液温度为70℃~95℃；（b）双面磷扩散：扩散方阻为50~150 ohm/sq；（c）背面局部区域保护：背面BSF区域采用喷墨打印或丝网印刷阻挡材料作为腐蚀保护层；（d）背面单面去除保护层外磷硅玻璃层：去除背面磷硅玻璃层PSG；（e）腐蚀去除保护层外的磷扩散层：腐蚀去除发射极区域的n+层；（f）形成前表面场和背表面场：去除保护层和PSG层，形成前表面场FSF和背表面场BSF。