激光光束分析仪校准方法及系统

摘要

本发明属于仪器校准技术领域，公开了一种激光光束分析仪的校准方法及系统。构造的平行光场，经过标准孔径的光阑形成标准束宽的平顶光束，被校激光光束分析仪测量该平顶光束的束宽，比较测量值和光束宽度标准值，实现激光光束分析仪的校准。该方法及系统有效可行，准确稳定，操作简便，解决了激光光束分析仪光束宽度量值的溯源问题，并大大提高了校准精确度。

主权项

1.一种激光光束分析仪的校准方法，其特征在于，包括以下步骤：将激光器发出的激光束经一平行光场产生装置整形成平行光束场；所述平行光束经一衰减器的衰减后，再经过一具有标准孔径的光阑形成标准束宽的平顶光束，其中，所述平行光束的传播方向平行于所述光阑的法线方向，且所述平行光束的场半径大于所述光阑的半径；所述标准束宽的平顶光束垂直入射到被校激光光束分析仪的探测器传感面上，测量多个所述标准束宽的平顶光束的光束宽度d_DUT，并取所述多个平顶光束的光束宽度d_DUT的平均值根据公式计算激光光束分析仪的光束宽度修正因子C，完成对激光光束分析仪光束宽度测量值的校准，其中，d_s为所述光阑的孔径值，k为常数。