发明名称 用于将结构精确施加到基板上的方法和设备
摘要 本发明涉及一种提供基板的方法,其中,在扫描步骤中,通过加工头的至少一个扫描装置检测已经施加于基板的结构,其中该加工头至少设置有至少一个照射装置,该照射装置在照射步骤中利用在扫描步骤中获得的信息而局部照射该施加的漆结构。另外还描述了一种实施所述方法的设备,该设备配置有可以相对于基板载体相对移动的加工头,其中该加工头包括至少一个扫描装置和至少一个照射装置。
申请公布号 CN1947479B 申请公布日期 2013.04.03
申请号 CN200580012506.3 申请日期 2005.04.22
申请人 OTB太阳能有限公司 发明人 马里纳斯·弗朗西斯库斯·约翰内斯·埃弗斯;彼得·布赖尔;科内利斯·彼得鲁斯·杜波
分类号 H05K3/12(2006.01)I;B41J11/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 主分类号 H05K3/12(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 章社杲
主权项 一种将漆结构施加到基板上的方法,包括:‑提供基板(S);‑提供加工头,其具有:‑照射装置(2、3);‑第一扫描装置(4),从所述基板相对于所述加工头移动的相对方向看,所述第一扫描装置(4)处于所述照射装置(2、3)的上游一侧,‑第二扫描装置(5),从所述加工头相对于所述基板移动的相对方向看,所述第二扫描装置处于所述照射装置(2、3)的下游一侧;‑第一扫描步骤,它是紧接在照射步骤之前进行,在该扫描步骤中,由所述第一扫描装置(4)检测已经施加于所述基板(S)的漆结构;‑所述照射步骤,用于局部照射被施加的所述漆结构;‑第二扫描步骤,它是在所述照射步骤之后立即由所述第二扫描装置(5)执行;‑在所述照射步骤中利用至少由所述第一扫描步骤获得的信息而局部照射该施加的漆结构。
地址 荷兰艾恩德霍芬