用于控制到处理室中的气体输送的时间尺度的方法

摘要

提供一种用于针对配方建立质量流量控制器(MFC)控制方案的方法，其中该方案被配置为减少到处理室的气体输送的时间尺度。该方法包括认定在该配方执行过程中使用的一组延迟气体种类，其具有比目标输送时间尺度更慢的一组输送时间。该方法还包括针对该组延迟气体种类中的每个气体种类建立初始超调强度和初始超调持续时间。该方法进一步包括通过在该执行该配方的过程中针对每个气体种类调整MFC硬件而建立MFC控制方案。调整该MFC硬件包括在该初始超调持续时间内应用该初始超调强度以确定该MFC控制方案是否为每个气体种类提供了在该处理室的平衡压强的目标精度内的压强曲线。

主权项

一种用于确定针对配方的质量流量控制器控制方案的方法，所述质量流量控制器控制方案被配置为用于减少到等离子体处理系统中的处理室的气体输送的时间尺度，所述方法包括：认定执行所述配方的过程中使用的一组延迟气体种类，其具有比目标输送时间尺度更慢的一组输送时间；对所述组延迟气体种类中的每个气体种类建立初始超调强度，其中所述初始超调强度是质量流量控制器流速所增加的因数；对所述组延迟气体种类中的所述每个气体种类确定初始超调持续时间，所述初始超调持续时间是将所述初始超调强度应用到所述质量流量控制器流速的持续时间；以及通过针对所述组延迟气体种类中的所述每个气体种类调整质量流量控制器硬件执行所述配方而建立所述质量流量控制器控制方案，其中所述调整所述质量流量控制器硬件包括在所述初始超调持续时间内应用所述初始超调强度以确定所述质量流量控制器控制方案是否对所述组延迟气体种类中的所述每个气体种类提供了在所述处理室的平衡压强的目标精度内的压强曲线。