脉冲激光脆性材料微加工方法及系统

摘要

本发明为脉冲激光脆性材料微加工方法及系统，本方法为脉冲激光聚焦于处在水中的脆性材料工件表面进行微加工，激光脉冲频率大于2Hz，功率密度为GW/cm2量级，脉宽为20～50ns。脆性材料为硅、砷化镓、玻璃。本系统激光控制单元控制的脉冲激光器输出的激光束经反射镜、聚焦透镜聚焦于容器内水中的工件表面；容器固定于可二维平动的工作台上，脉冲激光频率大于2Hz，功率密度为GW/cm2量级。微量泵进水口接入水池，出水口接入容器。计算机连接控制的X轴和Y轴伺服电机驱动工作台进行二维平动。本发明提供了水中脉冲激光对脆性材料进行大深宽比微加工的新方法和系统，深宽比可达3。

主权项

脉冲激光脆性材料加工方法，激光聚焦于处在水中的脆性材料工件表面进行微加工，所述激光脉冲频率大于或等于2Hz的脉冲激光，所述脉冲激光功率密度为GW/cm2量级，所述水为蒸馏水，所述脆性材料为硅、或砷化镓、或玻璃。