覆金属ITO膜ITO方阻的测试方法

摘要

本发明涉及覆金属ITO膜ITO方阻的测试方法，属于触控面板技术研究领域，尤指覆金属膜材料中的ITO的测试方法探究。本发明是用金属选择性蚀刻液蚀刻掉金属层后，留下ITO层，再测试材料的ITO方阻，并与原材料厂家提供的ITO方阻进行比对，来判定覆金属ITO膜ITO方阻是否符合标准要求，保证原材料的质量可靠性。

主权项

覆金属ITO膜ITO方阻的测试方法，其特征包括如下步骤：步骤一：取大小适中的覆金属ITO膜样品；步骤二：选择合适的金属选择性蚀刻液；步骤三：将样品投入该蚀刻液中，蚀刻掉金属层，留下ITO层；步骤四：取出上述蚀刻掉金属层后ITO膜，水洗干燥后测量ITO的9点方阻；步骤五：与原材料厂家提供的ITO方阻进行比对。