一种光掩膜板抛边装置

摘要

本发明涉及一种光掩膜板抛边装置，包括电机、机座、机架、磨轮、靠模机构和支撑结构，所述的机架固定在机座上，所述的靠模机构位于机架的一侧，所述的电机和磨轮固定在机架另一侧的支撑结构上，所述的磨轮设在电机的正下方；所述的靠模机构包括靠模、靠模滑板、靠模滑轨，所述的靠模滑轨安装于机架的一侧，所述的靠模滑板可滑动的水平安装在靠模滑轨上，所述的靠模安装在靠模滑板上。与现有技术相比，本发明具有结构简单，设备成本低等优点。

主权项

一种光掩膜板抛边装置，其特征在于，包括电机、机座、机架、磨轮、靠模机构和支撑结构，所述的机架固定在机座上，所述的靠模机构位于机架的一侧，所述的电机和磨轮固定在机架另一侧的支撑结构上，所述的磨轮设在电机的正下方。