发明名称 使用气体喷嘴从熔化物表面移离板材
摘要 在一个实施例中,一种板材制造装置包括设置为可容纳一种材料的熔化物的容器。冷却板紧邻熔化物安置且设置为可在熔化物上形成所述材料的板材。第一气体喷嘴设置为可将气体导向容器边缘。水平移动位于熔化物表面上的材料板材且自熔化物移离板材。第一气体喷嘴可导向弯液面且可稳定所述弯液面或提高弯液面内的局部压力。
申请公布号 CN103025926A 申请公布日期 2013.04.03
申请号 CN201180031762.2 申请日期 2011.03.02
申请人 瓦里安半导体设备公司 发明人 彼德·L·凯勒曼;葛列格里·D·斯罗森;孙大为
分类号 C30B15/06(2006.01)I;C30B28/10(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B29/52(2006.01)I;C30B29/64(2006.01)I 主分类号 C30B15/06(2006.01)I
代理机构 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人 臧建明
主权项 一种板材制造装置,包括:容器,设置为用以容纳材料的熔化物;冷却板,紧邻所述熔化物安置,所述冷却板设置为用以形成所述材料的板材,所述板材水平卧于紧邻所述冷却板的所述熔化物上;以及第一气体喷嘴,设置为用以将气体导向所述容器的边缘。
地址 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号