发明名称 单晶炉热场的保温材料
摘要 本实用新型涉及单晶炉热系统结构中一个重要部分,具体是单晶炉热场的保温材料,由固化碳毡替代原有的软碳毡,固化碳毡包括上保温固化碳毡、中保温固化碳毡、下保温固化碳毡和炉底保温固化碳毡,在达到原有软碳毡保温效果的基础上厚度变小,即方便操作又节省空间,增大了单晶炉配置热场的尺寸,提高单晶炉投料量和利用率,同时实现节能。
申请公布号 CN202849596U 申请公布日期 2013.04.03
申请号 CN201220533283.2 申请日期 2012.10.18
申请人 北京京仪世纪电子股份有限公司 发明人 梁仁和;李宗仁;赵婷玮
分类号 C30B35/00(2006.01)I 主分类号 C30B35/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种单晶炉热场的保温材料,其特征是:保温材料是固化碳毡,固化碳毡包括上保温固化碳毡、中保温固化碳毡、下保温固化碳毡和炉底保温固化碳毡。
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