发明名称 |
基于Cl<sub>2</sub>反应的大面积石墨烯制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种基于Cl2反应的大面积石墨烯制备方法,主要解决现有技术中制备的石墨烯面积小、层数不均匀的问题。其实现过程是:(1)在4-12英寸的Si衬底基片上生长一层碳化层作为过渡;(2)在温度为1150℃-1300℃下利用气源C3H8和SiH4生长3C-SiC外延薄膜;(3)将3C-SiC在700-1050℃下与Cl2反应,生成碳膜;(4)将生成的碳膜置于Ar气中,在温度为1000-1100℃下退火10-25min生成石墨烯。用本发明方法生成的石墨烯面积大,表面光滑,孔隙率低,可用于对气体和液体的密封。 |
申请公布号 |
CN102505113B |
申请公布日期 |
2013.04.03 |
申请号 |
CN201210000361.7 |
申请日期 |
2012.01.03 |
申请人 |
西安电子科技大学 |
发明人 |
郭辉;吕晋军;张玉明;张克基;邓鹏飞;雷天民 |
分类号 |
C23C16/26(2006.01)I;C30B25/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/26(2006.01)I |
代理机构 |
陕西电子工业专利中心 61205 |
代理人 |
王品华;朱红星 |
主权项 |
一种基于Cl2反应的大面积石墨烯制备方法,其特征在于,制备方法包括以下步骤:(1)对4‑12英寸的Si衬底基片进行标准清洗;(2)将清洗后的Si衬底基片放入CVD系统反应室中,对反应室抽真空达到10‑7mbar级别;(3)在H2保护的情况下逐步升温至碳化温度950℃‑1150℃,通入流量为30sccm的C3H8,对衬底进行碳化3‑7min,生长一层碳化层;(4)迅速升温至生长温度1150℃‑1300℃,通入C3H8和SiH4,进行3C‑SiC异质外延薄膜的生长,时间为36‑60min,然后在H2保护下逐步降温至室温,完成3C‑SiC外延薄膜的生长;(5)将生长好的3C‑SiC样片置于石英管中,加热至700‑1050℃;(6)向石英管中通入Ar气和Cl2气的混合气体,持续时间3‑5min,使Cl2与3C‑SiC反应生成碳膜;(7)将生成的碳膜样片置于Ar气中在温度为1000‑1100℃下退火10‑25分钟,使碳膜重构成石墨烯。 |
地址 |
710071 陕西省西安市太白南路2号 |